合金靶材
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金屬濺射靶材
基于堅實的研發背景和生産能力,我們擁有粉末冶金,真空感應熔煉,懸浮熔煉等多種鑄錠工藝,配合先進的熱處理工藝及精密機加工工藝,生産加工各種高純金屬及稀土系列靶材,廣泛應用于電子半導體,太陽能光伏,平面顯示,磁記錄,功能性薄膜等領域。
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類别

品 名

符号

純度

品名

符号

純度


常規

金屬

靶材

高純鋁靶

Al

5N-6N

高純鎂靶

Mg

3N5

高純銅靶

Cu

4N-6N

高純鐵靶

Fe

3N5-4N

高純钛靶

Ti

3N-5N

高純铟靶

In

4N-5N

高純鎳靶

Ni

3N-5N

高純錫靶

Sn

4N-5N

高純钴

Co

3N5

高純铪靶

Hf

3N 3N5

高純鋅靶

Zn

4N-5N

高純锆靶

Zr

2N5 3N


粉末

冶金

靶材

高純鉻靶

Cr

2N5 3N5

高純釩靶

V

3N 3N5

高純鎢靶

W

3N5 4N 5N

高純钽靶

Ta

3N5 4N

高純钼靶

Mo

3N5 4N

高純铌靶

Nb

3N5 4N

高純铼靶

Re

3N 4N





貴金

屬靶

高純金靶

Au

4N

高純钌靶

Ru

3N5

高純銀靶

Ag

4N

高純銥靶

Ir

3N5

高純鉑靶

Pt

4N

高純铑靶

Rh

3N5

高純钯靶

Pd

4N





其他

靶材

高純硼靶

B

3N

高純铋靶

Bi

4N

高純碳靶

C

4N 5N

高純硒靶

Se

4N

高純矽靶

Si

5N 6N

高純銻靶

Sb

4N

高純鍺靶

Ge

6N

高純碲靶

Te

4N

高純錳靶

Mn

3N

高純镉靶

Cd

4N

高純鉛靶

Pb

4N





稀土

金屬

靶材

高純钪靶

Sc

3N 4N

高純铕靶

Eu

3N 4N

高純钇靶

Y

3N 4N

高純铽靶

Tb

3N 4N

高純镧靶

La

3N 4N

高純镝靶

Dy

3N 4N

高純铈靶

Ce

3N 4N

高純钬靶

Ho

3N 4N

高純镨靶

Pr

3N 4N

高純铒靶

Er

3N 4N

高純钕靶

Nd

3N 4N

高純铥靶

Tm

3N 4N

高純钐靶

Sm

3N 4N

高純镱靶

Yb

3N 4N

高純钆靶

Gd

3N 4N

高純镥靶

Lu

3N 4N









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